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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1122841(A4) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 EP19990943352 申请日期 1999.09.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD 发明人 KIDOGUCHI, ISAO;ISHIBASHI, AKIHIKO;KUME, MASAHIRO;BAN, YUZABURO;KAMIYAMA, SATOSHI
分类号 H01L21/20;H01L33/06;H01L33/32;H01S5/00;H01S5/323;H01S5/343;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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