CONTINUOUS SILAZANE CLEAVAGE METHOD,申请号EP20050819216-传众专利搜索

发明名称	CONTINUOUS SILAZANE CLEAVAGE METHOD
摘要
申请公布号	EP1824864(A1)	申请公布日期	2007.08.29
申请号	EP20050819216	申请日期	2005.12.13
申请人	MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.	发明人	JANSEN, MARTIN;KOLIOS, GRIGORIOS;JAESCHKE, BRITTA
分类号	C01B35/00;C07F7/10	主分类号	C01B35/00
代理机构		代理人
主权项
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