三维微纳米触发式探头

摘要

本实用新型公开了一种三维微纳米触发式探头，其特征是由测头单元和测量单元构成：测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片，在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片，形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构；在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜，在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针；由激光器和四象限探测器构成测量单元，利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本实用新型能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、调节灵活的优势。

主权项

一种三维微纳米触发式探头，其特征是由测头单元和测量单元构成：所述测头单元是在圆环座(10a)上设置呈“十”字的簧片(10c)，所述簧片(10c)的各悬臂的远端与圆环形簧片外圈形成整体，并以所述圆环形簧片外圈与圆环座(10a)固定连接；在所述簧片(10c)的上表面、处在簧片(10c)的中心固定设置呈“十”字的悬浮片(10b)，形成悬浮片(10b)在圆环座(10a)上的悬浮结构；在所述悬浮片(10b)的上端面分别固定设置第一分光反射棱镜(9a)、第二分光反射棱镜(9b)和楔形棱镜(9c)，在所述悬浮片(10b)和簧片(10c)的中心贯通孔中固定安装探针(10e)，所述探针(10e)凸伸于悬浮片(10b)的下端面，探针(10e)的前端为测球(10d)；所述第一分光反射棱镜(9a)和第二分光反射棱镜(9b)均为非偏振分光反射棱镜；所述测量单元的光路结构为：激光器(3a)呈水平发射出的准直光依次经过第一平面反射镜(4a)和第二平面反射镜(5a)的反射后呈水平投射至第一分光反射棱镜(9a)，在所述第一分光反射棱镜(9a)中形成的反射光作为第一光束投射至第三四象限探测器(8a)；在所述第一分光反射棱镜(9a)中形成的透射光投射至第二分光反射棱镜(9b)，在所述第二分光反射棱镜(9b)中形成的透射光作为第二光束投射至第二四象限探测器(7a)；在所述第二分光反射棱镜(9b)中形成的反射光投射至楔形棱镜(9c)，在所述楔形棱镜(9c)中形成透射光作为第三光束投射至第一四象限探测器(6a)，利用所述第三四象限探测器(8a)、第二四象限探测器(7a)和第一四象限探测器(6a)获得测球(10d)的位移信号。