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发明名称 HARDENING OF PHOTO-RESIST
摘要
申请公布号 GB8413010(D0) 申请公布日期 1984.06.27
申请号 GB19840013010 申请日期 1984.05.22
申请人 FUSION SEMICONDUCTOR SYSTEMS 发明人
分类号 G03F7/38;G03C5/315;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
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