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发明名称 ION MICROBEAM IMPLANTING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0156913(B1) 申请公布日期 1989.07.12
申请号 EP19840902825 申请日期 1984.07.20
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ISHITANI, TOHRU SEIBU SAYAMADAI HAITSU R304;TAMURA, HIFUMI;UMEMURA, KAORU HITACHI DAI 3 KYOUSHINRYOU A301
分类号 H01J37/05;H01J37/317 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
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