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发明名称 A METHOD FOR GROWING AN OXIDE LAYER ON A SILICON SURFACE
摘要
申请公布号 EP0167208(B1) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 EP19850201018 申请日期 1985.06.27
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 CHEN, TEH-YI JAMES;BHATTACHARYYA, ANJAN;STACY, WILLIAM TURLAY;VORST, CHARLES JOHAN;SCHMITZ, ALBERT
分类号 H01L21/316;H01L21/321 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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