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发明名称 X-RAY EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0178660(B1) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 EP19850113171 申请日期 1985.10.17
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KEMBO, YUKIO;KOMEYAMA, YOSHIHIRO;IKEDA, MINORU;INAGAKI, AKIRA
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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