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发明名称 PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF A THIN FILM STRAIN GAGE SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0150878(B1) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 EP19850200054 申请日期 1985.01.21
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 BRINGMANN, UDO;DREWS, KLAUS;SCHOEN, DETLEF GERD, DR.;DOESSEL, OLAF HELMUT, DR.;GERSTENBERG, KLAUS WOLFGANG, DR.;KUERSTEN, GERHARD;ORLOWSKI, REINER UWE, DR.
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/509;G01L1/22;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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