DEVICE FOR FORMING THIN FILM,申请号JP19890170494-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH0336280(A)	申请公布日期	1991.02.15
申请号	JP19890170494	申请日期	1989.06.30
申请人	TAIYO YUDEN CO LTD	发明人	ITO ATSUO;FUKAI KIKUJI;IIDA HIDEYO;MASUYAMA SHINJI;KATO MITSUAKI
分类号	C23C18/00	主分类号	C23C18/00
代理机构		代理人
主权项
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