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经营范围
发明名称
KANTEN-POLIERGERAET
摘要
申请公布号
DE4031163(A1)
申请公布日期
1991.04.11
申请号
DE19904031163
申请日期
1990.10.03
申请人
SPEEDFAM CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
HAKOMORI, SHUNJI;MAEDA, SEIICHI;NAGAHASHI, ISAO, AYASE, KANAGAWA, JP
分类号
B24B9/06;B24B29/04
主分类号
B24B9/06
代理机构
代理人
主权项
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