Force sensor.

摘要

Die Erfindung betrifft einen Druckfühler der in Dick- oder Dünnschichttechnik mit einem keramischen Substrat gefertigt wird. Der Druckfühler weist zwei konzentrische kreis- oder rechteckförmig verlaufende Nuten und acht piezoresistive Widerstände (Rp) auf. Durch diese geometrische Ausformung des Substrats wird eine Membrane mit Biegezonen (BZ) geschaffen, die durch steife Membranzonen (SZ) voneinander getrennt sind. Eine ausgezeichnete Linearität ergibt sich für den gezeigten Druckfühler selbst bei unpräziser Positionierung der piezoresistiven Widerstände(Rp). Weiterhin können die Druckfühler gegen mechanische Zerstörung geschützt werden. Als weitere Messfühler können auch Kondensatoren verwendet werden. <IMAGE>