发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03248428(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900046112 申请日期 1990.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAMURA HIROYUKI
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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