摘要 |
Capteur de pression (11) dans lequel la force est exercée par l'intermédiaire d'une membrane (14) et d'un plongeur (18) sur un élément de mesure piézo-résistif (21). L'élément de mesure (21) est une partie d'une pastille au silicium monocristallin (20). Cette dernière comprend une pastille au silicium monocristallin, sur laquelle l'élément de mesure piézo-résistif (21) est monté en circuit demi-pont ou en circuit à pont de Wheatstone. Un circuit de stabilisation (23), un circuit amplificateur (24) pour le signal de mesure à relever et des éléments électriques pour la compensation de température du point zéro et la sensibilité de l'élément de mesure (21) se trouvent en outre sur la pastille au silicium. De plus, il est prévu des éléments (51) pour le réglage fonctionnel au moyen de connexions supplémentaires. Il est ainsi possible de régler de l'extérieur, par exemple, la sensibilité et le point zéro du capteur à l'état complètement monté de la pastille (20), sans réglage au laser. Le capteur de pression (11) est, en outre, de construction relativement petite et peu encombrante. |