| 发明名称 |
MEASURING EQUIPMENT OF PRECISION OF SUPERPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0658717(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920231317 |
申请日期 |
1992.08.06 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
YOSHIKAWA KUNIYUKI;HASHIMOTO NORIYOSHI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01N21/27;G01N21/47;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
