高机能材料之利用质量分离法的高纯度精制方法及高机能材料之淀积方法

摘要

于利用质量分离法对锌、硒等的元素超高纯度化制程，减轻源自于起始原料之杂质引起的负载，且提高离子化效率，提高生产性。以二甲基锌等的有机化合物及氧等气体元素化合物为起始原料，藉由激发体雷射21照射，由于不经中间能阶之非共振的多光子吸收使解离及离子化、对经予离子化的元素藉由利用电磁场55之质量分离法分离出杂质，并使仅指定的离子化元素淀积于靶材61上。至于对象金属元素，系以Zn及Se或O为对象，而搀杂剂，则采用N，Cl等。