| 摘要 |
microfiltro, método de formar um microfiltro e método de usar um microfiltro. a presente invenção se refere a um microfiltro compreendendo uma camada de polímero formada de filme seco fotodefinível e uma pluralidade de aberturas, cada uma se estendendo através da camada de polímero. também é revelado um método de formar um microfiltro. o método inclui prover uma primeira camada de filme seco fotodefinível baseado em epóxi, disposta em um substrato; expor a primeira camada a energia através de uma máscara para formar um padrão, definido pela máscara, na primeira camada de filme seco; formar, a partir da primeira camada de filme seco, uma camada de polímero possuindo uma pluralidade de aberturas se estendendo através desta, a pluralidade de aberturas possuindo uma distribuição definida pelo padrão; e remover a camada de polímero de substrato. |
