| 摘要 |
本发明系半导体或液晶制造装置，其系具备：陶瓷保持体1，其系在反应容器9内，且其内部埋设有阻抗发热体3；及筒状支持构件2，其一端2a系用于支持陶瓷保持体1，而他端2b系固定于反应容器9上；筒状支持构件2之一端2a在与陶瓷保持体1呈气密接合的同时，他端2b侧在内部系与隔板6及封止材料7呈气密封止。该半导体或液晶制造装置，在筒状支持构件2内之陶瓷保持体1与隔板6所区划的空间中，系以真空或非活性气体之减压环境为佳。在具有上述结构之半导体或液晶之制造装置中，筒状支持构件容易实施气密封止，可防止露出于陶瓷保持体之背面之电极端子4之腐蚀及氧化，在提高保持体之均热性的同时，亦可提升热效率；此外，因可使筒状支持构件维持较短尺寸，故可达成反应容器之小型化。 |
