基板保持装置及基板检查装置

摘要

以基板（1）下之基板托架（5）上的插口（19）的伸缩动作向上方作摇动，当基板托架（5）向上摇动时，基板5相对于直线导轨（15）之铰链（10）上所设之移动滑车（14）移动，由底座（3）之边缘部份（11）往上推出的同时，基板托架（5）的下端侧边缘较底座（3）的边缘部份（11）更为下降。