| 发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING CHARACTERISTICS OF PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10326814(A) |
申请公布日期 |
1998.12.08 |
| 申请号 |
JP19970134971 |
申请日期 |
1997.05.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
YASUDA MASAHARU |
| 分类号 |
G01L27/00;G01L9/00;H01L21/66;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01L27/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
