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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10326782(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19970135515 申请日期 1997.05.26
申请人 SONY CORP 发明人 KAWASHIMA ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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