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发明名称
WET TREATING APPARATUS OF CHEMICAL FILTER
摘要
申请公布号
KR0166213(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19950047173
申请日期
1995.12.06
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD
发明人
NAM, HYUNG-HE
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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