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发明名称 WAFER SUPPORT BOAT
摘要
申请公布号 KR0165760(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950018603 申请日期 1995.06.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KWAN, CHANG-HUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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