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发明名称 METHOD AND FURNACE FOR HEAT TREATING SOI SUBSTRATE AND PRODUCTION OF SOI SUBSTRATE EMPLOYING THEM
摘要
申请公布号 JPH11251563(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980370439 申请日期 1998.12.25
申请人 CANON INC 发明人 SATO NOBUHIKO
分类号 H01L21/324;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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