Ion beam processing apparatus and method of operating ion source therefor,申请号GB19990029564-传众专利搜索

发明名称	Ion beam processing apparatus and method of operating ion source therefor
摘要
申请公布号	GB9929564(D0)	申请公布日期	2000.02.09
申请号	GB19990029564	申请日期	1999.12.14
申请人	HITACHI, LTD.	发明人
分类号	B23H1/00;H01J27/08;H01J37/317	主分类号	B23H1/00
代理机构		代理人
主权项
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