发明名称 | 检查用模座及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种可极大地去除周围温度变化造成影响的获得较高的检查精度的检查用的模座及其制造方法。在中空长方体状的座主体(1A)的顶面和侧面,形成多个安装孔(13),该座主体中的至少顶面与4个侧面由石英玻璃或单晶体石英的矩形板(10,11,12)制成,在这些安装孔(13)中,分别以嵌合插入方式固定有多个基准部件(9),该多个基准部件有与测定机测头的前端相接触的基准测定面。 | ||
申请公布号 | CN1209600C | 申请公布日期 | 2005.07.06 |
申请号 | CN01800112.2 | 申请日期 | 2001.02.13 |
申请人 | 株式会社浅沼技研 | 发明人 | 浅沼进 |
分类号 | G01B21/00 | 主分类号 | G01B21/00 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 皋吉甫 |
主权项 | 1.一种检查用模座,其特征在于其包括:中空长方体状的座主体,其中至少顶面和4个侧面由石英玻璃或单晶体石英的矩形板形成;和多个基准部件,它们分别以嵌合插入方式固定在形成于座主体顶面和侧面上的多个安装孔中,该基准部件有与测定机座的前端相接触的基准测定面。 | ||
地址 | 日本静冈县 |