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发明名称 Detektor mit mehreren Öffnungen für die Photolithographie
摘要
申请公布号 DE69838564(T2) 申请公布日期 2008.02.07
申请号 DE19986038564T 申请日期 1998.03.18
申请人 ASML HOLDING, N.V. 发明人 MCCULLOUCH, ANDREW W.
分类号 G01B11/24;G03F9/00;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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