一种气/固两相复合回转基准方法与装置

摘要

气/固两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用，通过在气浮轴系的轴向止推气膜内施加轴向固体支承，形成以固体支承为主、气体支承为辅，或气体支承为主、固体支承为辅，或气体支承与固体支承作用相当的复合支承形式，显著提升轴向刚度和承载能力；在气浮轴系的径向气膜内施加径向固体支承，利用弹性元件的微小弹性变形耗散主轴的中、高频微振动能量，并利用弹性元件的变形储能与静摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度；其装置分别在轴向止推气膜和径向气膜内配装固体弹性元件；本发明可建立一种同时兼顾高精度、高刚度、大承载、低振动以及高位移灵敏度的回转基准。

主权项

1、一种气/固两相复合回转基准方法，其特征在于该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用：在气浮轴系轴向止推气膜内施加轴向固体支承，并对支承元件优化设计使其工作特性满足：未加负载时，支承元件不工作，气体支承单独作用；负载逐渐增大时，支承元件发生微弹性变形，且随变形量的微量增加，固体支承作用显著增强，最终形成以固体支承为主、气体支承为辅，或气体支承为主、固体支承为辅，或气体支承与固体支承作用相当的复合支承形式；在气浮轴系径向气膜内施加径向固体支承，并对支承元件优化设计使其工作特性满足：支承元件与主轴保持一定的接触预紧力，并形成以气体支承为主、固体支承为辅的径向支承形式。