在综合氯硅烷厂中回收利用高沸点化合物的方法

摘要

本发明涉及热解法二氧化硅的制备方法，其特征在于冷凝由氯硅烷和氢构成的沉积多晶硅的废气，随后在蒸馏塔中分离，该蒸馏塔的底物是由0.5－20重量％的高沸点氯硅烷和99.5－80重量％的四氯化硅组成的高沸点化合物馏分，和将该高沸点化合物馏分完全蒸发，并将氯硅烷蒸汽供料到燃烧器中，在燃烧器中其在火焰中与空气或氧及氢反应以提供热解法二氧化硅。

主权项

1、一种用于制备热解法二氧化硅的方法，其特征在于冷凝由氯硅烷和氢沉积多晶硅的废气，随后在蒸馏塔中分馏，该蒸馏塔的底物是包括0.5-20重量％的高沸点氯硅烷和99.5-80重量％的四氯化硅的高沸点化合物馏分，然后将该高沸点化合物馏分完全蒸发，并将氯硅烷蒸汽供料到燃烧器中，在火焰中与空气或氧及氢反应以提供热解法二氧化硅。