用于金属及金属/介电结构之化学机械研磨之组成物

摘要

一种组成物，它包含：2.5～70％(体积)30wt％阳离子改性矽溶胶的，其阳离子改性二氧化矽颗粒的平均粒度介于12～300nm；以及0.05～22wt％至少一种氧化剂；且其pH值介于2.5～6，特别适合作为研磨浆用于金属和金属／介电结构的化学机械研磨。