Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten sowie Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung (300) zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten. Dabei weist die Sensorvorrichtung (300) eine Chemiresistorschicht (310) aus einem chemiresistiven Material auf, dessen elektrischer Widerstand von einer Betriebstemperatur und von einem Kontakt mit dem zumindest einen gasförmigen Analyten abhängig ist. Hierbei ist die Chemiresistorschicht (310) mittels elektrischen Stromflusses durch dieselbe auf eine definierbare Betriebstemperatur temperierbar. Auch weist die Sensorvorrichtung (300) ein Elektrodenpaar (320, 330) auf, das elektrisch leitfähig mit der Chemiresistorschicht (310) verbunden ist. Dabei ist unter Verwendung des Elektrodenpaars (320, 330) eine Heizleistung zum Temperieren der Chemiresistorschicht (310) auf die definierbare Betriebstemperatur in die Chemiresistorschicht (310) einprägbar und ist der elektrische Widerstand der Chemiresistorschicht (310) messbar.