| 摘要 |
Laserbearbeitungskopf (1) mit einer integrierten Sensoreinrichtung zur Fokuslagenüberwachung, wobei der Laserbearbeitungskopf (1) eine Fokussierlinse (4) und ein nachgeordnetes Schutzglas (5) aufweist, um ein Bearbeitungsstrahlenbündel (9), das als paralleles Strahlenbündel auf die Fokussierlinse (4) auftrifft, in einen resultierenden Brennpunkt (11) der Fokussierlinse (4) mit nachgeordnetem Schutzglas (5), in dem ein Werkstück (12) angeordnet ist, zu fokussieren, und der Fokussierlinse (4) im parallelen Strahlengang ein Strahlteiler (3) vorgeordnet ist sowie ein mit einer Auswerteeinheit (14) verbundener Sensor (13) vorhanden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlteiler (3) für einen ersten Anteil eines in den Laserbearbeitungskopf (1) eingekoppelten Laserstrahlenbündels (8), das Bearbeitungsstrahlenbündel (9), transmittierend und für einen zweiten Anteil, ein Messstrahlenbündel (10), reflektierend ist und dem Strahlteiler (3) in Reflexionsrichtung ein Spiegel (6) so nachgeordnet ist, dass er das Messstrahlenbündel (10) in einem Winkel α zur optischen Achse der Fokussierlinse (4) auf diese reflektiert, um es in einem zum Brennpunkt (11) konjugierten Bildpunkt (17) auf der Empfangsfläche des Sensors (13) abzubilden. |
