Vorrichtung zur Remote-Laserbearbeitung mit Sensor-Scannereinrichtung

摘要

Vorrichtung zur Remote-Laserbearbeitung von zumindest einem Werkstück (2) mittels eines Bearbeitungslaserstrahls (3) mit einer Laserleiteinheit (4) und zumindest einer von der Laserleiteinheit (4) optisch entkoppelten Sensoreinheit (14), die gemeinsam von einem Manipulator (5) bewegbar sind und/oder zu denen das Werkstück (2) mittels eines Manipulators relativ bewegbar ist, wobei der Bearbeitungslaserstrahl (3) mittels der Laserleiteinheit (4) zu einem Prozessort (8) auf dem Werkstück (2) leitbar ist und die Sensoreinheit (14) einen optischen Sensor (19) zum Erfassen eines Analysebereiches (17) auf dem Werkstück (2) und Mittel zum Bewegen des Analysebereiches (17) relativ zur Bewegung des Manipulators (5) und/oder Werkstücks (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoreinheit (14) als Mittel zum Bewegen des Analysebereiches zumindest ein optisches Führungselement (20) aufweist, das im Strahlengang (21) zwischen dem Analysebereich (17) und dem Sensor (19) angeordnet ist und das derart beweglich ausgebildet ist, dass die Position des Analysebereiches (17) auf dem Werkstück (2) durch eine der Manipulator- und/oder Werkstückbewegung überlagerte Relativbewegung veränderbar ist.