发明名称 |
一种汞灯角分布测试装置和一种照明灯室 |
摘要 |
本实用新型公开了一种汞灯角分布测试装置,包括测量模块、位置调整模块和信号控制模块,汞灯设置在所述位置调整模块上,所述测量模块设置在所述汞灯的焦面上,所述信号控制模块用于控制所述位置调整模块动作以及处理所述测量模块的测量信息并控制所述位置调整模块动作;本实用新型所述汞灯角分布测试装置实现了对汞灯能量角分布的测量,通过反馈相应测试参数,实现从根本上提高椭球反射镜在结构模拟仿真以及设计的可靠性;本实用新型还提供了一种照明灯室,包括灯罩以及设置在所述灯罩内的汞灯、椭球反射镜、冷光反射镜和上述汞灯角分布测试装置,实现了照明灯室内汞灯的在线检测。 |
申请公布号 |
CN205787592U |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201620519910.5 |
申请日期 |
2016.05.31 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
赵峰;张辉 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种汞灯角分布测试装置,其特征在于,包括测量模块、位置调整模块和信号控制模块,汞灯设置在所述位置调整模块上,所述测量模块设置在所述汞灯的焦面上,所述信号控制模块用于控制所述位置调整模块动作以及处理所述测量模块的测量信息并控制所述位置调整模块动作。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |