发明名称 METHODS OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTORS
摘要
申请公布号 GB2167899(B) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 GB19850027737 申请日期 1985.11.11
申请人 * SONY CORPORATION 发明人 HISAO * HAYASHI;TAKASHI * NOGUCHI
分类号 H01L29/78;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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