发明名称 |
METHODS OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTORS |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2167899(B) |
申请公布日期 |
1988.04.27 |
申请号 |
GB19850027737 |
申请日期 |
1985.11.11 |
申请人 |
* SONY CORPORATION |
发明人 |
HISAO * HAYASHI;TAKASHI * NOGUCHI |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/18 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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