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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02260573(A) 申请公布日期 1990.10.23
申请号 JP19890081075 申请日期 1989.03.31
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKENAKA KAZUHIRO
分类号 H01L21/8247;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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