| 发明名称 |
PREPARATION OF COPPER FILM LAMINATED ALUMINA WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0443654(A) |
申请公布日期 |
1992.02.13 |
| 申请号 |
JP19900152251 |
申请日期 |
1990.06.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
NAKAMOTO ATSUHIRO;TONE KAORU;NOBETANI TORU |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/18;H01L21/60;H05K3/00;H05K3/14 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
