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经营范围
发明名称
ION IMPLANATION
摘要
申请公布号
JPH0442920(A)
申请公布日期
1992.02.13
申请号
JP19900148066
申请日期
1990.06.06
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
IWAI YUICHIRO
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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