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发明名称 EFFECTIVE-SURFACE-AREA ESTIMATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05288666(A) 申请公布日期 1993.11.02
申请号 JP19920115388 申请日期 1992.04.08
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IWATA TERUO;IKEDA TORU
分类号 G01N13/00;G01N15/08;(IPC1-7):G01N13/00 主分类号 G01N13/00
代理机构 代理人
主权项
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