| 发明名称 |
FORMING OF METAL FILM FOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0799196(A) |
申请公布日期 |
1995.04.11 |
| 申请号 |
JP19930241218 |
申请日期 |
1993.09.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OKUNO AKEMI;NISHIO MIKIO;ENDO MASATAKA;HASHIMOTO SHIN |
| 分类号 |
C23C18/30;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C18/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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