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经营范围
发明名称
Film forming apparatus
摘要
申请公布号
EP0589416(B1)
申请公布日期
1997.01.15
申请号
EP19930115193
申请日期
1993.09.21
申请人
NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED
发明人
HASHIMOTO, HAJIME;KUBOTA, KAZUO;INOUE, DAISUKE;NOGAWA, SYUICHI
分类号
C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/22;C23C14/48
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
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