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发明名称 Herstellung von Halbleiterscheiben mit verbesserter Kontrolle der Innenstörstellen
摘要
申请公布号 DE58909801(D1) 申请公布日期 1997.07.10
申请号 DE1989509801 申请日期 1989.02.08
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC., ST. PETERS, MO., US 发明人 HUBER, WALTER, DR., I-20154 MILANO, IT
分类号 C30B29/06;C30B33/02;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322;H01L21/324 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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