发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Biosensorelementes in Silizium-Technologie in einem Full-Wafer-Prozeß
摘要
申请公布号 DE4337418(C2) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19934337418 申请日期 1993.11.03
申请人 INSTITUT FUER CHEMO- UND BIOSENSORIK MUENSTER E.V., 48149 MUENSTER, DE 发明人 STEINKUHL, RALF, DIPL.-ING., 48155 MUENSTER, DE;SUNDERMEIER, CHRISTIAN, DIPL.-ING., 48155 MUENSTER, DE;DUMSCHAT, CHRISTA, DR., 48161 MUENSTER, DE;CAMMANN, KARL, PROF. DR., 48155 MUENSTER, DE;KNOLL, MEINHARD, PROF. DR., 48565 STEINFURT, DE
分类号 C12Q1/00;(IPC1-7):G01N27/327 主分类号 C12Q1/00
代理机构 代理人
主权项
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