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发明名称 Sputter coating apparatus
摘要
申请公布号 AU4695397(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 AU19970046953 申请日期 1997.11.03
申请人 SOLA INTERNATIONAL HOLDINGS LTD. 发明人 CLIVE HILTON BURTON
分类号 C23C14/04;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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