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经营范围
发明名称
CHEMICAL TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR0158635(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19950008986
申请日期
1995.04.17
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, TAE-YONG;CHO, CHAN-RAE;YU, JI-SANG;CHOE, CHUL-SOO
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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