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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING FIELD OXIDE FILM
摘要
申请公布号 KR0157921(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950050639 申请日期 1995.12.15
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 LEE, SANG-DON;KIM, JIN-HO
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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