发明名称 FLAW INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11201913(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980250806 申请日期 1998.09.04
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAITO TETSUYA
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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