发明名称 OPTICAL DISPLACEMENT MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11201751(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980004752 申请日期 1998.01.13
申请人 NIKON CORP 发明人 IWASAKI YUTAKA
分类号 G01B11/00;G01C3/06;(IPC1-7):G01C3/06 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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