喷墨打印头的致动器的制造方法

摘要

本发明提供一种喷墨打印机的致动器的制造方法,其中振动板由金属薄板构成,并层叠一层抗氧化层,以便在高温下热处理时保持其物理性质的稳定性,从而提高打印头的可靠性。

主权项

1.一种喷墨打印头的致动器的制造方法，包括以下步骤：以与具有储液室的室板成一体的方式形成振动板；以需要的组分比例，将激活所述涂敷工艺的活性剂和用于防止所述金属粉末流动并被烧结的抗烧结剂与金属粉末混合，所述金属粉末要涂敷在整体连接在一起的所述室板和所述振动板上，由此产生粉末混合物，然后将混合物和所述室板和所述振动板一起装入炉内；在需要的气氛中在高温下加热所述炉，由此在所述室板和所述振动板的暴露表面上形成抗氧化金属膜；在氧化气氛中以氧化所述抗氧化金属膜的方式热处理所述室板和所述振动板，由此在所述室板和所述振动板的所述暴露表面上形成抗氧化膜；在涂敷有所述抗氧化膜的所述振动板的上表面上利用烧结工艺淀积氧化物压电元件；以及将上电极层叠在所述氧化物压电元件上。