等离子电镀

摘要

本发明公开了在物体表面沉积先进材料膜的方法。该方法包括将待镀物体放置于具有分离的电极对和电解液的电解槽内，电极之一即为该物体，而电解液含待镀材料的来源。在阴极附近的电解液中形成气泡族团，形成方法有多种，包括电解法、沸腾法、气穴法、气液混合法和喷射法。本发明的方法还包括以下步骤，即，在阴极与阳极之间施加一电位差，使得气泡区域产生辉光放电，从而在气泡内形成电离气体分子的等离子体。然后该高能气态等离子体使材料沉积在物体表面形成薄膜。本方法可在大气环境中进行，无需真空设备。电解液具有容纳等离子体的作用。穿过气泡族团的大的电压降促使该区域产生辉光放电，导致待镀材料的分子的能量增加并发生电离。还公开了实施本方法的设备。

主权项

1.在物体表面沉积材料的方法，所述方法包括以下步骤：提供具有电解液和分离的电极对的电解槽，其中一个电极由所述物体形成，所述物体为导电性材料或具有导电涂层的非导电性材料；在电解液内产生含有待镀材料来源的气泡簇，以便形成包裹所述物体的气泡区域；在上述电极之间施加一个电位差，使得在所述气泡区域形成等离子体辉光放电，所述材料被等离子沉积在所述物体上。