基板处理装置以及清洁方法

摘要

本发明提供了一种基板处理装置及其清洁方法。在基板处理装置中，基板支撑构件包括在其上安装有基板的转头、转动接头以及用于供应溶液的供应管。该转动接头接收供应管供应的溶液并将此溶液供应到转头。转头具有为了喷射溶液而形成的至少一个喷射孔，并且在旋转时轴向地喷射溶液。因此，基板支撑构件能够将溶液提供到处理容器的内壁，以提高处理容器的清洁效率并且增加生产的产出。